路维光电：目前掩膜基板中的中大型尺寸石英基板尚依赖进口

11月3日，掩膜版上市公司路维光电发布了投资者关系活动记录表。路维光电称，公司已实现180nm及以上制程节点半导体掩膜版量产，同时储备有150nm制程节点掩膜版制造技术和OPC、PSM等应用于中高端半导体掩膜版的制造技术，公司的主要生产设备光刻机主要采购自瑞典的Mycronic、德国的海德堡仪器两家公司。目前掩膜基板中的中大型尺寸石英基板尚依赖进口，其中，高世代石英基板及光学膜的供应商集中于日本、韩国。总体来说，上游原材料的供应是相对比较稳定的。