Latest News and Trends 曝佳能将推FPD曝光设备新品 支持8代玻璃基板尺寸 July 25, 2022 Posted by jeff 25 Jul 据报道，佳能将于2022年7月下旬推出FPD（Flat Panel Display）曝光设备新品”MPAsp-H1003H”，支持第8代玻璃基板尺寸，”MPAsp-H1003H”拥有1.5μm*2（L/S*3）的分辨率和±0.35μm的套合精度。
